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ZKLT 激光封焊手套箱
主要用途:


激光封焊手套箱用于微组装模块的气密封装。微组装由于使用到裸芯片封装,微互连的引脚也暴露在外,所以大多需要对组装模块进行气密封装。激光封焊是目前一种新型密封方式,他的适用性强,密封效果好。手套箱可以实现密封前的预烘,保证密封件内部的水氧含量满足各类标准的要求。


性能指标:


1)5W 至450W平均功率


2)激光波长: 1064nm


3)峰值功率10KW


4)脉冲时间0.2到150ms


5)输出稳定性: ±3%


6)光纤内径为400µm或600µm


7)工作台行程:XY轴200200mm ,Z轴100mm


8)工作台定位精度:20µm,重复精度5µm


9)手套箱内环境:氧含量优于1ppm,水含量优于1ppm